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电子工业VOC废气怎么处理?选用那些处理设备比较好(voc废气处理一般用什么设备)

发布时间:2022-03-30 12:19:33      发布人:  浏览量:

VOCs排放涉及涂装行业、农药医药、石油化工行业、涂料油墨染料生产、家具制造业、印刷业、干洗业、电子工业、合成革与人造革等行业。

电子工业是VOCs排放的主要行业之一,电子工业废气VOCs排放种类多,组分复杂。

一般来说,废气排放中风量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。

排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体

现在有的VOC电子工业废气处理方法可以简单分为两大类:

一类称为破坏性方法,包括蓄热燃烧法和催化焚烧法;

另一类称为回收性方法,常用的回收方法有吸收法、吸附法和光催化氧化技术。

蓄热式热氧化(简称RTO)回收热量采用一种新的非稳态热传递方式。主要原理是:有机废气和净化后的排放气交替循环,通过多次不断地改变流向,来大限度地捕获热量,蓄热系统提供了极高的热能回收。

通过燃烧来消除有机物的,其操作温度高达700℃-1,000℃,这样不可避免地具有高的燃料费用;为降低燃料费用,需要回收热量,有两种方式:传统的间壁式换热,新型非稳态蓄热换热技术。

本法是把废气加热到200~300℃经过催化床催化燃烧转化成无害无臭的二氧化碳和水,达到净化目的。该法适用于高温、中高浓度的有机废气治理,国内外已有广泛使用的经验,效果良好。该法是治理有机废气的有效方法之一,但对于低浓度、大风量的有机废气治理存在设备投资大、运行成本较高的缺点。

利用吸附剂(粒状活性炭和活性炭纤维)的多孔结构,将废气中的VOC捕获。将含VOC的有机废气通过活性炭床,其中的VOC被吸附剂吸附,废气得到净化,而排入大气。

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